proroca01
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液晶／半導體製程,全氟化橡膠FFKM產品

R.Pororoca O型環(O-ring)

「Pororoca」是AIR WATER MACH的高端品牌名稱，液晶／半導體製程設備、化學工廠等各種嚴苛環境條件下所使用的全氟O-RING總稱。使用於嚴苛的化學環境以及耐熱性、耐化學性、耐電漿等要求，立足於半導體業等高科技領域。
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優越的耐熱性

優越的耐熱性

在橡膠材料中，採用具有最高耐熱性的特殊FFKM聚合物並導入新固化系，實現了350℃超耐熱等級，可用於高溫製程。

低Particle性・低Outgas性

低Particle性・低Outgas性

對於在半導體/ FPD製造過程中導致良率惡化原因的Particle釋出，透過特殊充填材調配，減少因Plasma造成的傷害。另外，同樣導致良率惡化原因的Outgas問題，我們也有相對應的產品可以提供。

豐富的產品線

豐富的產品線

創業以來培育至今的製造技術以及獨自的調配技術，從豐富的產品線中依照客戶用途提案最適切的材料。從既有產品線中提供更具性價比的產品。

各種耐性（耐溶劑･耐藥性･低金屬溶出物･低黏著性等）

各種耐性（耐溶劑･耐藥性･低金屬溶出物･低黏著性等）

可依據各種化學品的耐藥性提供相對應的材質，如耐溶劑性・低金屬溶出物性等。

Specifications

 

全氟化橡膠FFKM產品產品線

 

依據製程要求選擇材料

           

Pororoca 331B                                                                                                                            Pororoca 127B
。系列中最高耐溫350℃，可使用在超高溫領域                                                                                。具廣泛的耐藥性（包含氨、水蒸氣、臭氧）
。在耐藥性亦卓越（在氨・水蒸氣環境下需注意）                                                                            。密封性能壽命長、機械特性亦優越
 

           

Pororoca 251B                                                                                                                            Pororoca 252W
。具各項密封需有特性，耐熱性・耐藥性能＜耐熱目標：320℃＞                                                     。耐熱性、NonCarbon素材　＜耐熱目標：300℃＞

 

           

Pororoca CF                                                                                                                                Pororoca G80C
。耐熱性、具有對金屬低附著性　＜耐熱目標：250℃＞                                                                  。不含金屬系填充材、純粋性優越


Pororoca IOTA
。徹底追求低Out Gas性能、通用氟橡膠

 

半導體用途密封材選擇指南

材質 硬度 顏色 材料No.
A）黃光製程
光阻塗布・顯影
  • 光阻管內的密封材
  • 藥液管線的密封材
  • 塗布機＆顯影機
 127B
  • 耐藥性・機械特性優越。
B）Etching／Ashing
濕製程
  • 藥液管線的密封材
  • 蝕刻設備
 127B
  • 耐藥性・機械性強度優越。
乾製程
  • Chamber內部品
  • Chamber蓋密封・Gate Valve等
  • Plasma Etching設備
  • Plasma Ashing設備
 251B、
252W
  • 耐熱性・純粋性優越。
  • 耐熱性・機械特性優越。
  • 耐熱性・耐Plasma特性優越。
  • 耐Plasma特性・機械特性優越。
C）洗淨／光阻剝離
光阻剝離
  • 藥液管線的密封材
  • 光阻剝離設備
  • 藥液管線的密封材
  • 過濾
  • 洗淨設備
 127B
  • 對氨類之剝離液耐性表現優越
  • 耐藥性・機械特性優越
洗淨 G80C
  • 純粋性優越
  • 抽出物少
D）氧化／擴散
 
  • 爐體的密封材
  • 氧化・擴散爐
  • Lamp Anneal設備
 331B、
251B、
CF
  • 耐熱性最為優越。（Max330℃）
  • 耐熱性・機械特性優越。
  • 低固著性優越、擁有高導電性。
  • 釋出氣體少。
E）電極／配線
 
  • Chamber內密封材
  • Sputtering設備
  • Metal CVD設備
 331B、251B
  • 耐熱性最為優越。（Max330℃）
  • 耐熱性・機械特性優越
F）絕緣膜形成
 
  • Chamber內密封材
  • (Plasma)CVD設備
  • LP-CVD装置
 IOTA
  • 耐熱性・純粋性優越
  • 低固著性優越、擁有高導電性
  • 釋出氣體少
G）研磨
化學性物理性研磨
  • Chamber內密封材
  • 藥液管線的密封材
  • CMP設備
 127B
  • 耐藥性・機械特性優越
  • 抽出物少
 

系列產品物性一覽表

材料名＼常態物性 顏色 耐熱目標
℃		 硬度
Shore A		 抗拉強度
MPa		 100％
抗拉應力
MPa		 拉伸率
％		 壓縮永久變形
JIS試驗片
200℃70H
％		 壓縮永久變形
Oring
200℃70H
％		 壓縮永久變形
Oring
250℃70H
％		 壓縮永久變形
Oring
300℃70H
％
測試條件 － － JIS
K6253		 JIS K6251 JIS K6262
壓縮率：25％		 Oring：P25
壓縮率：25％
Pororoca
331B		 黑色 350 80 21.1 13.3 160 － 15   26
Pororoca
127B		 黑色 220 75 16.5 6.3 180 12 18   －
Pororoca
251B		 黑色 320 75 21 8.7 210 16 18   39
Pororoca
252W		 白色 300 75 18 7.1 260 － 33   63
Pororoca
G80C		 琥珀色 220 80 19.3 3.5 430 － 54   －
Pororoca
IOTA		 黑色 220 75 15.8 4.7 246 10 200℃加熱
釋出氣體量
9.0μg/g		    
Pororoca
CF		 黑色 250 75 14.1 7.4 200 9 － 24 －


系列產品耐性一覽表

【用途】 ◎：推薦材料 ○：可使用 △：根據環境使用 ×：不推薦

材料名＼項目 原物料 推薦用途
D：乾製程
W：濕製程		 重金屬溶出 加熱產生氣體 耐藥性 耐Plasma性
有機酸 無機酸 氨 溶劑 高濃度臭氧 氧氣 鹵素
Pororoca
331B		 FFKM D 〇 〇 － － － － － 〇 〇
Pororoca
127B		 FFKM D/W 〇 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 〇
Pororoca
251B		 FFKM D/W △ 〇 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ 〇 〇
Pororoca
252W		 FFKM D － 〇 － － － － － 〇 ◎
Pororoca
G80C		 FKM D ◎ △ － － － － － △ △
Pororoca
IOTA		 FKM D － ◎ － － － － － △ △
Pororoca
CF		 FKM D － 〇 － － － － － － －

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