液晶/半導體製程,全氟化橡膠FFKM產品

R.Pororoca O型環(O-ring)

「Pororoca」是AIR WATER MACH的高端品牌名稱,液晶/半導體製程設備、化學工廠等各種嚴苛環境條件下所使用的全氟O-RING總稱。使用於嚴苛的化學環境以及耐熱性、耐化學性、耐電漿等要求,立足於半導體業等高科技領域。
優越的耐熱性

優越的耐熱性

在橡膠材料中,採用具有最高耐熱性的特殊FFKM聚合物並導入新固化系,實現了350℃超耐熱等級,可用於高溫製程。

低Particle性・低Outgas性

低Particle性・低Outgas性

對於在半導體/ FPD製造過程中導致良率惡化原因的Particle釋出,透過特殊充填材調配,減少因Plasma造成的傷害。另外,同樣導致良率惡化原因的Outgas問題,我們也有相對應的產品可以提供。

豐富的產品線

豐富的產品線

創業以來培育至今的製造技術以及獨自的調配技術,從豐富的產品線中依照客戶用途提案最適切的材料。從既有產品線中提供更具性價比的產品。

各種耐性(耐溶劑・耐藥性・低金屬溶出物・低黏著性等)

各種耐性(耐溶劑・耐藥性・低金屬溶出物・低黏著性等)

可依據各種化學品的耐藥性提供相對應的材質,如耐溶劑性・低金屬溶出物性等。

Specifications

 

全氟化橡膠FFKM產品產品線

 

依據製程要求選擇材料

Pororoca am
。系列中最高耐溫350℃,可使用在超高溫領域
。在耐藥性亦卓越(在胺・水蒸氣環境下需注意)


Pororoca 875B
。具廣泛的耐藥性(包含胺、水蒸氣、臭氧)
。密封性能壽命長、機械特性亦優越


Pororoca 251B
。具各項密封需有特性,耐熱性・耐藥性能<耐熱目標:320℃>


Pororoca 252W
。耐熱性、NonCarbon素材 <耐熱目標:300℃>

Pororoca CF
。耐熱性、具有對金屬低附著性 <耐熱目標:250℃>


Pororoca G80C
。不含金屬系填充材、純粋性優越


Pororoca IOTA
。徹底追求低Out Gas性能、通用氟橡膠

 

半導體用途密封材選擇指南

材質 硬度 顏色 材料No.
A)黃光製程
光阻塗布・顯影
  • 光阻管內的密封材
  • 藥液管線的密封材
  • 塗布機&顯影機
875B
  • 耐藥性・機械特性優越。
B)Etching/Ashing
濕製程
  • 藥液管線的密封材
  • 蝕刻設備
875B
  • 耐藥性・機械性強度優越。
乾製程
  • Chamber內部品
  • Chamber蓋密封・Gate Valve等
  • Plasma Etching設備
  • Plasma Ashing設備
251B、252W
  • 耐熱性・純粋性優越。
  • 耐熱性・機械特性優越。
  • 耐熱性・耐Plasma特性優越。
  • 耐Plasma特性・機械特性優越。
C)洗淨/光阻剝離
光阻剝離
  • 藥液管線的密封材
  • 光阻剝離設備
  • 藥液管線的密封材
  • 過濾
  • 洗淨設備
875B
  • 耐胺類之剝離液表現優越
  • 耐藥性・機械特性優越
洗淨 G80C
  • 純粋性優越
  • 抽出物少
D)氧化/擴散
 
  • 爐體的密封材
  • 氧化・擴散爐
  • Lamp Anneal設備
am、251B、CF
  • 耐熱性最為優越。(Max350℃)
  • 耐熱性・機械特性優越。
  • 低固著性優越、擁有高導電性。
  • 釋出氣體少。
E)電極/配線
 
  • Chamber內密封材
  • Sputtering設備
  • Metal CVD設備
am、251B
  • 耐熱性最為優越。(Max350℃)
  • 耐熱性・機械特性優越
F)絕緣膜形成
 
  • Chamber內密封材
  • (Plasma)CVD設備
  • LP-CVD装置
IOTA
  • 耐熱性・純粋性優越
  • 低固著性優越、擁有高導電性
  • 釋出氣體少
G)研磨
化學性物理性研磨
  • Chamber內密封材
  • 藥液管線的密封材
  • CMP設備
875B
  • 耐藥性・機械特性優越
  • 抽出物少
 

系列產品物性一覽表

材料名\常態物性 顏色 耐熱目標
硬度
Shore A
抗拉強度
MPa
100%
抗拉應力
MPa
拉伸率
壓縮永久變形
JIS試驗片
200℃70H
壓縮永久變形
Oring
200℃70H
壓縮永久變形
Oring
250℃70H
壓縮永久變形
Oring
300℃70H
測試條件 JIS
K6253
JIS K6251 JIS K6262
壓縮率:25%
Oring:P25
壓縮率:25%
Pororoca
am
黑色 350 77 15.5 10.4 150 3   13
Pororoca
875B
黑色 220 75 16.5 6.3 180 12 18  
Pororoca
251B
黑色 320 75 21 8.7 210 16 18   39
Pororoca
252W
白色 300 75 18 7.1 260 33   63
Pororoca
G80C
琥珀色 220 80 19.3 3.5 430 54  
Pororoca
IOTA
黑色 220 75 15.8 4.7 246 10 200℃加熱
釋出氣體量
9.0μg/g
   
Pororoca
CF
黑色 250 75 14.1 7.4 200 9 24


系列產品耐性一覽表

【用途】 :推薦材料 ○:可使用 △:根據環境使用 ×:不推薦

材料名\項目 原物料 推薦用途
D:乾製程
W:濕製程
重金屬溶出 加熱產生氣體 耐藥性 耐Plasma性
有機酸 無機酸 溶劑 高濃度臭氧 氧氣 鹵素
Pororoca
am
FFKM D
Pororoca
875B
FFKM D/W
Pororoca
251B
FFKM D/W
Pororoca
252W
FFKM D
Pororoca
G80C
FKM D
Pororoca
IOTA
FKM D
Pororoca
CF
FKM D
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